工業CT是一種X射線掃描成像技術,實現產品無損可視化準確測量,并可搭配光學、光纖、探針、激光掃描等多種傳感器。對工件內外部所有結構尺寸全面的高精密測量,同時可實現工件材質的缺陷分析。
工業CT檢測主要用于檢測高密度和大尺寸物體,應用高能量X射線探,需有更高的系統分辨力等等。目前工業CT技術的應用十分廣泛;在汽車等制造領域,可以用于零部件的缺陷檢測、質量控制和實效分析;在電子行業,可以用于芯片封裝多余物檢測、封裝工藝改進和逆向設計;在航空航天領域可用于產品質量控制、裝配工藝分析;總之,凡是需要觀測樣品內部結構的場合都能用到工業CT,是一種十分理想的無損檢測手段。
工業CT
工業CT常用的CT掃描模式有II代掃描、III代掃描。III代掃描具有更高的效率,但是容易由于校正方法不佳而導致環狀偽影(所以減弱或消除環狀偽影是體現CT系統制造商技術水平的主要內容之一);II代掃描效率大約是III代掃描的1/10—1/5,但其對大回轉直徑工件檢測有益。此外CT系統通常會具備數字射線檢測成像(DR)功能。
工業CT系統的核心性能指標包括:
1、空間分辨率:從CT圖像中能夠辨別最小結構細節的能力。
2、密度分辨率:從CT圖像中能夠分辨出最小密度差異的能力(通常跟特征區域大小結合在一起評定)。
空間分辨率與密度分辨率的關系。在輻射劑量一定的情況下,空間分辨率與密度分辨率是相互矛盾的兩個指標。提高空間分辨率會降低密度分辨率,反之亦然。
對于普通的工業CT系統,其核心性能指標只有空間分辨率和密度分辨率;而對于一臺高精度測量工業CT系統而言,除了上述兩個核心性能指標外,還有另外兩個核心性能指標:
2、幾何測量精度:在工業CT圖像上測得某對象的幾何尺寸與該對象真實尺寸之間的絕對誤差。
2、密度測量精度:在工業CT圖像上測得某對象的密度值與該對象真實密度值之間的相對誤差。